个人代开材料发票的流程如下：

1、首先，需要填写并提交《代开发票申请表》。

2、其次，申请人需提供其合法身份证件及复印件。

3、然后，付款方（或接受劳务服务方）需要对所购物品品名（或劳务服务项目）、单价、金额等出具书面确认证明。

4、最后，申请人需提供预缴税款的完税证明单。对于个人小额销售货物或提供劳务在200元（含）以下的，只需提供申请代开发票人的合法身份证件及复印件，税率为3％。